ZLS-26D/M型氦质谱检漏仪的主要性能和硬件构成与ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪相同。它由26型检漏系统与触摸式大屏幕工控系统组成。是我厂开发的新一代氦质谱检漏仪器。

仪器采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有自动寻峰、程序控制、检漏数据存储、分析、统计及打印等功能，具备高度的智能化程度。
主要特点：
1.1微机系统控制，人机对话方式操作
1.212英寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，
漏率直读，四种常用漏率单位转换
1.3自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能
1.4动态清除本底
1.5检漏过程曲线显示
1.6检漏数据保存功能
1.7声讯报警，报警点可程序设置
1.8自带一套辅助系统，可作喷氦法、吸氦法和背压法检漏
1.9进口涡轮分子泵

漏率直读

自动扫描氦峰
主要技术参数：
1．仪器最小可检漏率：优于5×10^-12Pa.m³/s
2．仪器的反应时间：不大于3s
3．仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10^-2Pa
4．仪器测试口允许的最高压强：1000Pa
5．背压法检漏时间可调范围：5～30s
6．仪器的启动时间：不大于5min
7.仪器轮廓尺寸：640×550×980mm³
8.仪器重量：约75Kg
9.仪器使用电源：220V±10%，50Hz
主要部件配置：
1.涡轮分子泵---------国外品牌1台
2.前级泵-------------国外品牌1台
3.粗抽泵-------------国外品牌1台
4.质谱分析室---------1套
5.控制线路及软件-----1套
6.控制电磁阀---------1套
7.校准漏孔(带计量证书)1支
8.工控计算机(12寸触摸式)1台
9.喷枪、气袋1套
10.吸枪1支