氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少(仅万分之五)，离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。与当今诸多检漏方法(如气泡法、卤素检漏法等)相比，它是佼佼者。

ZLS－26D/T型氦质谱检漏仪是新型的全功能氦质谱检漏仪，机内采用涡轮分子泵作主排气机，启动快(仅五分钟即可使用)。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用道扩散方式进行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙(测试口压强在50～10^-1Pa)，也可以在不分流状态下检微小的漏隙(测试口压强在10^-1Pa以下)。仪器测量范围可达2×10^-1～2×10^-12Pa·m/S。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率，且可按需要选用适当的漏率单位(仪器已给出四种常用单位Pa·m³/S、Torr·L/S、mbAR·l/s、atm·cc/s)，读数方便仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法(真空检漏法)、吸氦法(压力检漏法)、背压法检漏。其中ZLS-26D型军品已通过二炮验证，开始批量为其**配套。
主要技术参数：
仪器最小可检漏率：优于5×10^-12Pa.m³/s
仪器最大可检漏率：2×10^-1Pa.m³/s
仪器漏率显示范围：2×10^-1～2×10^-13Pa.m³/s
仪器的反应时间：不大3s
仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10^-2Pa
仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点
(检漏点)可调范国：50～10^-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s
仪器的启动时间：不大于5min
仪器的轮廓尺寸：640*550*980mm³
仪器的重量：约75Kg
性能指标
氦质谱检漏仪对比
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型号最小可检漏率Pa.m³/s
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ZLS-23B2·10^-11
ZLS-24B2·10^-11
ZLS-24C2·10^-11
ZLS-26D/T5·10^-12
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型号反应(清除)时间s
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ZLS-23B＜3
ZLS-24B＜3
ZLS-24C＜3
ZLS-26D/T＜3
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型号读数方式
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ZLS-23B表头(mV)
ZLS-24B表头和数字(量程自动切换)
ZLS-24C表头和数字(量程自动切换)
ZLS-26D/T数字直读
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型号特点
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ZLS-23B单主机，带标准漏空
ZLS-24B带一套粗抽系统(泵2XZ-4B)，配有一只校准漏孔
ZLS-24C带二套粗抽系统，适用于批量检漏，配有一只校准漏孔
ZLS-26D/T涡轮分子泵(国外品牌)
前级泵(国外品牌)
粗抽泵(国外品牌)
配有一只校准漏孔
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