ZLS－25D/M型氦质谱检漏仪是一种全功能氦质谱检漏仪，与我厂生产的扩散泵型仪器相比，采用了品牌涡轮分子泵作仪器的高真空机组，优化了真空系统及控制阀门的设计，显示部分采用了嵌入式工控计算机，微机系统控制。适用于生产线上对大批量零件的检漏(喷氦法或背压法)，也可用吸枪作吸氦法检漏。

主要特点：
1.1微机系统控制，人机对话方式操作
1.2触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，
漏率直读，四种常用漏率单位转换
1.3自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能
1.4动态清除本底
1.5检漏过程曲线显示
1.6检漏数据保存功能
1.7声讯报警，报警点可程序设置
1.8自带一套辅助系统，可作喷氦法、吸氦法和背压法检漏
1.9品牌涡轮分子泵

触摸式液晶显示屏
主要技术参数：
2．1仪器最小可检漏率：优于5×10^-12Pa·m³／s
2．2仪器的反应时间：不大于3s
2．3仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10^-2Pa
2．4仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa
2．5被检件由粗抽至检漏的自动切换点(检漏点)可调范围：40～10^-1Pa
主要部件配置：
3．1涡轮分子泵国产1台
3．2前级泵国产1台
3．3粗抽泵国产1台
3．4质谱分析室1套
3．5校准漏孔(带检定证书)1支