超迈光电与伟创电气就半导体微纳装备达成合作
2025.06.11 点击11次
近日,公司与伟创电气(股票代码:688698)就联合研发半导体微纳沉积装备和新材料制备装备的电气控制系统达成合作,历经数月实际使用工况和极端环境测试,伟创电气的PLC、伺服电机、变频器、液压伺服、人机界面等运动控制系统在半导体微纳沉积装备上有良好表现,特别是在真空、严控颗粒污染和挥发物、复杂等离子刻蚀、-55℃到150℃高低温冲击等环境表现优秀,双方一致同意为超迈公司Research系列科学仪器和Surpass系列工业级产品提供核心电气元件。
同时,双方就超迈光电定向研发伟创电气重大科学仪器专项达成一致意见。 | 产品分类
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