微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
SC-SU-I磁控溅射仪
产品介绍 1. 石英腔体尺寸：150X120MM 2. 样品尺寸：70mm 3. 溅射尺寸：50mm 4. 最大真空度：5pa 5. 可用气体：氢气、氮气等惰性气体。 6. 最大溅射速度：8nm/min 7. 功率：200W 8. 尺寸：360(W)X310(D)X150mm(H) 9. 带泵和1个靶材（需要其他材质的靶材联系客服） |
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