布鲁KEDEKTAK PRO接触式台阶仪

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型号:	DEKTAKPRO
交货期:	现货
仪器类型:	光电式

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产品名称

DEKTAKPRO台阶仪

产品介绍

Bruker Dektak Pro布鲁克台阶仪

Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的形象，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

详细介绍

Bruker Dektak Pro布鲁克台阶仪

Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的形象，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

提供：

测量和分析功能，确保每次都能获得准确、严谨的数据

多功能性和便捷性，精简的软件和简便的探针更换通过直驱扫描平台和软件进步，减少获得结果的时间

产品参数

测量技术	探针轮廓测量（接触测量）
测量功能	二维表面轮廓测量；可选三维测量
样品视野	可选放大倍率， 0.275到2.2 mm
探针传感器	低惯量传感器（LIS 3）
探针压力	1到15 mg，使用LIS 3传感器
低作用力	N-Lite+ 精微力传感器，0.03到15 mg（可选）
探针选项	探针半径选项从50 nm到25 μm；高径比（HAR）针尖200 μm x 20 μm；可根据客户要求提供定制针尖
样品台 XY载物台	手动100 mm（4寸），手动调平；电动150 mm（6寸），手动调平；带编码器电动200 mm（寸），手动调平
样品旋转台	手动或自动，连续360°
减震装置	减震装置可用（选配）
扫描长度范围	55 mm（2"）；200 mm具备扫描拼接能力
每次扫描数据点	可达120,000个数据点
样品厚度可达	50 mm
晶圆尺寸可达	200 mm
台阶高度重复性	4 Å, 1 sigma （ ≤1 μm 标准台阶样品)
垂直范围	1 mm
垂直分辨率	1 Å (@ 6.55 μm 范围)
输入电压	100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz
温度范围	工作范围20到 25°C (68 到 77oF)
湿度范围	≤80%, 无冷凝
系统尺寸与重量	尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9W x 22.6 D x 14.5 H）；重量：34 kg（75 lb）；外壳尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L x 23" W x 17.5" H）；外壳重量：5.0 kg（11 lb）