产品名称

质子流量控制器

产品类型

气体质量流量计D07系列质量流量计

关键字

D07-7C

产品详细描述

普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞

主要指标

· 量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程）

· 准确度：±1.5% F.S

· 线性：±0.5～1.5% F.S

· 重复精度：±0.2% F.S

· 响应时间：10S

· 气压降：<0.01MPa

· 最大压力：3MP

· 工作环境温度：5～45℃

· 输入输出信号：0～+5.00V

· 电源：+15V 50mA -15V 50mA

· 外形尺寸：158*30*110

· 重量：0.9 Kg