产品型号

高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层Al₂O₃纤维钢构，无需水冷或风冷。

2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

3、PID控制器，可以设置30段升降温程序，并设有过热保护和断偶功能。

4、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：单相208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW

2、石英管：外径Ø110mm，内径Ø103mm，长380mm

3、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Ø10mm，灯长300mm

4、加热区：300mm

5、工作温度：最高温度1100℃

6、控温精度：±0.5℃

7、最高升温速度：RT-800℃时为50℃/s，800℃-1000℃时为10℃/s

8、温控仪：可控硅（SCR）PID自动控制

9、真空法兰：不锈钢，带有水冷接口和针阀，双层高温O型圈密封，长时间在>900℃条件下运行必须采用水 冷，循环水流量为0.5m³/hr

10、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

11、质量流量计：3个，MFC1范围0-100sccm，MFC2范围0-200sccm，MFC3范围0-500sccm，精度1±%FS

12、混气罐：Ø80mm×120mm

产品规格

尺寸：炉体760mm×330mm×530mm，真空混气系统600mm×600mm×597mm

重量：炉体45kg，真空混气系统75kg