PCE-22紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM &TEM，紫外对聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
产品型号 | PCE-22紫外臭氧清洗机 |
主要特点 | 1、仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内; 2、温度范围：5-40℃; 3、最大相对湿度80％，最高30.5℃，40℃线性降至50％相对湿度; 4、主电源波动不超过额定电压的10％; 5、污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb。 6、去除分子级别的污染物 7、紫外光固化粘合剂 8、紫外光催化 9、氧化PDMS 10、表面消毒 11、刻蚀 12、清洗MEMS 器件 13、清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片 |
技术参数 | 1、功率：最大350W 2、AC 208～240V，单相 50/60Hz |
腔体&样品台 1、不锈钢壳体 2、抽屉式样品台，以便放样取样 3、样品台面积310 mm x 320 mm 4、臭氧通风装置安装在腔体上 5、样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调） 6、样品台可以加热，最高温度可达150℃ 7、可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃ 8、设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时 | 
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排气口 1、直径为80mm的排气口安装在仪器后端 2、请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外 3、仪器中不包含橡胶管 | 
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紫外灯 1、可发出双波长的水银灯 2、功率：55W 3、发出光的波长：254 nm 和 185 nm 4、使用寿命：2500 小时（可更换） 5、照射区域：200 x 200 mm 6、可以清洁直径最大为12英寸x 35毫米的晶体晶片。 | 
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产品规格 | 1、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 2、重量：28kg |
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