技术参数

卷膜条件

镀膜材料：PET 和无纺布

适用制膜：软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

基材厚度：125～300μm

有效镀膜宽幅：≤800 mm

最大卷绕直径：Φ400 mm

卷绕芯轴内径：4 寸

基材卷绕速度：1～2 m/min

基材卷绕张力：30 ～ 200 N

张力系统：交流伺服

溅镀方式：单面

真空条件

极限真空（空载、洁净）：8×10-4Pa

恢复真空时间（空载、清洁）：105Pa ～ 5×10-3Pa≤60 min

系统真空漏率：1.0×10-10 Pa.m3/s

磁控溅射阴极数量：3 个

膜均匀性偏差：≤±10%