OLYMPUS奥林巴斯MX63/MX63L半导体与平板显示器检测显微镜系统特别适合尺寸*大300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件，获得根据应用定制的系统。

这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时保持检测者的工作舒适性。在与奥林巴斯Stream图像分析软件结合使用情况下，可以简化从观察到报告生成的整体工作流。

**的分析工具

OLYMPUS奥林巴斯MX63/MX63L半导体与平板显示器检测显微镜的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。**照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。

从不可见到可见：MIX观察与图像采集

通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，对于样品表面纹理的可视化非常有用。

半导体晶圆上的结构