Surface Particle QV 表面尘埃粒子计数器用于测量各种高洁净度要求的产品，光学镜片组件、液晶面板及超净微环境受控的半导体机台等表面所附着的尘埃粒子的粒径大小及单位面积内的数量。
本仪器的核心零部件(光学传感器)及控制器等采用美国莱特浩斯所生产的组件来保证该产品的测量精度。
本仪器外壳采用SUS316L不锈钢制作，并经表面钝化处理。彩色触摸液晶屏显示操作，检测光学传感器采用美国进口整机，吸气的气泵为旋片式进口气泵，并可通过流量传感器来自动调节气泵的运行流量，使其保持在一个稳定的检测流量范围内，表面测试探头根据德国同类产品进行改良优良，并配有防静电软管与主机连接，其于用排气及吸气过滤的囊式过滤器。内部滤材为德国进口，从而保证仪器的检测精度及运行稳定性。
表面粒子计数器由三部分组成：
扫描取样头：取样的同时可以提供一定压力的吹扫气流，可以集成操作控制器；
激光尘埃粒子计数器主机：主要由气泵、传感器、主控板、过滤器以及电池组成；
连接主机与扫描采样头的管道：包括取样管道与吹扫管道。
主要技术参数
| 检测精度 | 0.3μm(0.1μm可定制) |
| 检测通度 | 0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道(可定制：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm) |
| 计数效率 | 0.3μm 50%±20%(第1粒径通道) 0.5μm 100%±10%(第2粒径通道) |
| 采样流量 | 28.3L/min ±5%，可通过触摸屏控制自行调整 |
| 采样时间 | 0～24h |
| 重复性 | 相对标准偏差≤10% |
| 粒径准确度 | 相对误差≤10% |
| 自净时间 | ≤10 min |
| 光源 | 激光二极管，经过特殊工艺优化理论寿命为20年(MTT)或寿命大于40000小时 |
| 显示方式 | 触摸显示屏 |
| 允许最大采样浓度 | 35000颗/L(尘埃颗粒粒径不小于0.3um)，采样空气中不得含酸碱等腐蚀性气体 |
| 外形尺寸 | 260mm×260mm×260mm |
| 重量 | 7.5kg |
| 最大功耗 | 35W |
| 电源 | 16.8V内置锂电池/DC16-24V外部宽电压供电 |
| 粒径通道 | 0.3um、0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um |
| 采样周期 | 3s、6s |
| 数据存储 | 5000组 |
| 表面材质 | SUS316L |
| 连续工作时间 | 8小时 |
| 使用环境条件 | 温度：10-35℃ 湿度：20-75RH 大气压：86-106kPa |
| 零计数 | ≤10分钟内连续3分钟为0 |
| 执行标准 | ISO/FDIS 21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008 |
| 采样口径 | 1/4”Flaretek™ |
| 采样温度 | 32-302℉(0-150℃) |
| 操作界面 | 彩色触摸屏控制便于操作和设定，能同时显示6个通道的数据，分辨率320×240，屏幕数据缩放功能 |
| 输出方式 | 内置热敏打印机或485协议 |
| 电源 | AC100～240V 50～60HZ |
| 语言 | 中、英、德、日等多国语言 |
| 保修 | 两年(仪器自身质量) |
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