产品参数说明：

● 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

●转动速度：0-10,000rpm(更高速可选)

●旋涂加速度：0-50,000rpm/sec(空载)

●马达旋涂转速稳定性能误差：< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE)

●转速调节精度及重复性：1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE)

●具有真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能

●工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec

●支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圆晶)

●旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

产品外型尺寸：

●433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构

●306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构(适于嵌入式手套箱或工作台内)