Research-电子束蒸发镀膜

该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统，同时兼容IBE等离子刻蚀和在线辅助镀膜，过流部件均采用SUS304制造，真空系统后置，标准配置分子泵系统，标配工业级人机界面和西门子PLC系统，手动和自动模式自由切换，能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。

形式：箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统。

真空系统：极限真空5X10^-4Pa，主泵为复合分子泵。

真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规。

工件架系统。客户需求定制，配置可扩展4英寸、3英寸、2英寸基片的专用互换工装，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选，行星工件盘成本较高。

烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块，最高烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不超过2℃。

电子束蒸发源。E型电子束蒸发源系统(E型)1套，主体有屏蔽罩，单枪、单电源、单扫描，配置独立高压控制柜。

坩埚：坩埚1套，电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套。

电阻蒸发源：2套电阻蒸发源。（选配）

膜厚测试系统。配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探头。

离子源辅助沉积系统:一套（选配离子源或高压离子轰击系统）

控制系统：成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏和西门子PLC，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。

    说明：根据用户要求，公司愿与客户联合研发，共享知识产权，公司致力于工艺与设备**匹配。